技術編號：9372535
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及一種同步觸發(fā)的定標方法及其裝置，特別的，涉及一種在旋轉器件型 光譜橢偏儀中實施的同步觸發(fā)的定標方法及其裝置。背景技術 旋轉器件型光譜橢偏儀是一類應用廣泛的光譜橢偏儀，包括旋轉起偏器型、旋轉 驗偏器型、單旋轉補償器型和雙旋轉補償器型橢偏儀等。 旋轉器件一般由電機負載，電機在測量過程中一直處于運動狀態(tài)，轉速穩(wěn)定且不 發(fā)生改變，如要保證測量數(shù)據(jù)的完整性和準確性，必須確認探測器采集的光強信號與旋轉 器件的光軸位置嚴格對應。這就需要在運動電機與探測器之間...
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