技術(shù)編號：93683
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。封、導(dǎo)結(jié)合的雙環(huán)密封系統(tǒng)(以下簡稱雙環(huán)密封系統(tǒng))是空氣潔凈技術(shù)領(lǐng)域解決高效過濾器安裝邊框滲漏的新方法。高效過濾器是潔凈室的最后一道擋住灰塵隨送風(fēng)進(jìn)入室內(nèi)的手段，而它的邊框和框架之間的滲漏(見圖1)則是有重要影響的一種滲漏，因?yàn)檫@不能通過像篩選過濾器那樣的辦法預(yù)先解決，相反，卻帶有極大的隨機(jī)性。對于高潔凈度級別的潔凈室，例如100級潔凈室(每升空氣中，≥0.5μ的塵粒不允許超過3.5粒)，特別是超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)所要求的10級潔凈室(每升空氣中，≥0.1μ的塵粒不允許超過0.35粒)，邊框的滲漏成為致命的問題。因?yàn)?..
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。