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液封直拉法(LiquidEncapsulated Czochralski Crystal Growth, LEC 晶體生長(zhǎng)法)是在傳統(tǒng)提拉法技術(shù)基礎(chǔ)上增加覆蓋劑的一種改進(jìn)的技術(shù)，是一種工業(yè)化的半導(dǎo)體單晶生長(zhǎng)技術(shù)。在LEC法晶體生長(zhǎng)過(guò)程中，將晶體生長(zhǎng)的原料放在坩禍中加熱熔化，獲得一定的過(guò)熱度。將固定于拉晶桿上的籽晶從熔體表面浸入熔體中，發(fā)生部分熔化后，緩慢向上提拉籽晶桿，并通過(guò)籽晶桿散熱。與籽晶接觸的熔體首先獲得一定的過(guò)冷度，而發(fā)生結(jié)晶。不斷提拉籽晶桿，使結(jié)...
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