技術(shù)編號：9344742
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于薄膜制備領(lǐng)域，具體涉及。背景技術(shù)在薄膜的生產(chǎn)制備過程中，通常需要使同一層薄膜由多種不同材料分區(qū)域組成。目前主要利用光刻掩膜技術(shù)解決此問題，其基本思路是先在基底上鍍一層耐腐蝕的光刻膠，隨后讓強(qiáng)光通過掩膜板照射到光刻膠上，將光刻膠未被掩膜板遮蓋的區(qū)域腐蝕，再用清洗液將腐蝕的光刻膠除去，露出下面的基片，然后沉積粒子，就形成了由光刻膠和某種材料組成的混合膜層。這種光刻的方法存在諸多缺點首先，當(dāng)混合層中要求的材料種類繁多，且不允許包含光刻膠時，使用這種方法...
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