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一種快速生成高熔點(diǎn)接頭的芯片鍵合方法及超聲壓頭設(shè)計(jì)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9305572

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本發(fā)明屬材料,特別涉及一種快速生成高熔點(diǎn)接頭的芯片鍵合方法及超聲壓頭設(shè)計(jì)。背景技術(shù)在科學(xué)技術(shù)迅速發(fā)展的今天,半導(dǎo)體器件變得更小、更薄、集成度變得更高,功能性變得更多,工作環(huán)境也變得更加惡劣。此外,隨著能源產(chǎn)業(yè)和航空航天產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,越來越多的微電子器件被要求在惡劣環(huán)境下穩(wěn)定服役,尤其是要在高溫的環(huán)境下良好工作。如在能源產(chǎn)業(yè)中應(yīng)用于鉆探機(jī)械上的MEMS傳感器,其服役的環(huán)境溫度高于300°C,又如航天設(shè)備中使用的一些高溫功率電子系統(tǒng),其使用溫度甚至達(dá)到400...
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