技術(shù)編號:9291969
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種直線電動機。背景技術(shù)—直以來,作為例如在干凈環(huán)境下的半導(dǎo)體相關(guān)物品的輸送等各種用途所使用的馬達(dá),公知有較高定位精度和耐磨耗性優(yōu)異的多種形態(tài)的直線電動機。與使用了典型的磁路的直線電動機相比,作為即使是相同的大小也能夠輸出較大的推力的直線電動機,公知有如下直線電動機將構(gòu)成為平板狀的動子作為次級構(gòu)件而設(shè)為能夠沿直線方向移動,并且在動子的表面和背面上分別設(shè)置各自與動子相對的作為初級磁場產(chǎn)生構(gòu)件的定子,在各自與動子相對的面上形成包括磁體或鐵心的齒(磁極...
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