技術(shù)編號(hào)：9286956
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。目前，隨著現(xiàn)代工業(yè)的迅速發(fā)展，位移測(cè)量變得十分重要，而諸如機(jī)床在承載條件下微形變位移的測(cè)量、精密光學(xué)元件輪廓的測(cè)量等，對(duì)位移測(cè)量速度和精度的要求非常高。常見的位移測(cè)量包括機(jī)械式、電子式和幾何光學(xué)式，游標(biāo)卡尺等機(jī)械式位移測(cè)量?jī)x存在測(cè)量精度低、測(cè)量結(jié)果嚴(yán)重依賴人工的缺點(diǎn)，電感電容式精密位移傳感器測(cè)量范圍小、容易受到環(huán)境電磁場(chǎng)以及自身電子噪聲的干擾，光學(xué)干涉位移測(cè)量由于具有更高的測(cè)試靈敏度和精度，得到了廣泛的應(yīng)用。其中，最常用的光學(xué)干涉位移測(cè)量裝置有邁克爾遜干涉...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。