技術(shù)編號:9275660
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。作為III族氮化物材料最鮮明的特點之一,極化效應(yīng)在III族氮化物微電子和光電子器件中扮演了十分重要的角色。在GaN HEMT器件中,正是得益于較強的自發(fā)極化和壓電極化效應(yīng),AlGaN/GaN HEMT表現(xiàn)出了非常卓越的器件性能,目前常規(guī)GaN HEMT器件最高輸出功率密度已經(jīng)達到41.4W/mm,而最高振蕩頻率(/_)也已經(jīng)達到了 500GHz。但是以上器件均基于突變結(jié)材料,即勢皇層材料與緩沖層材料組分有較大差異,且勢皇層材料組分恒定。近年來,一種基于氮化...
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