技術編號：9250125
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體器件領域，尤其涉及一種具有三明治柵極介質(zhì)結(jié)構(gòu)的HEMT器件及其制備方法。背景技術功率開關器件按照器件導通時是否需要在柵極施加開啟偏壓分為常開型(耗盡型)和常關型(增強型)兩種類型。常關型功率開關器件在柵電極不施加偏壓情況下，器件即處于關斷狀態(tài)，相對于常開型類型，常關型器件在實際應用中具有更安全、節(jié)能同時簡化電路設計等方面優(yōu)勢，因此具有重要的研宄價值和廣闊的應用市場。另一方面，耐擊穿電壓大小也是衡量現(xiàn)代功率器件綜合性能的重要指標之一，基于寬禁...
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