技術(shù)編號：9233684
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 納米測量技術(shù)是納米加工、納米操控、納米材料等領(lǐng)域的基礎(chǔ)。而1C產(chǎn)業(yè)、精密機(jī) 械、微機(jī)電系統(tǒng)等都需要高分辨率、高精度的位移傳感器，W達(dá)到納米精度定位。 隨著集成電路朝大規(guī)模、高集成度的方向飛躍發(fā)展，光刻機(jī)的套刻精度要求也越 來越高，與之相應(yīng)地，獲取工件臺、掩模臺的六自由度位置信息的精度也隨之提高。 干涉儀有較高的測量精度，可達(dá)納米量級，在光刻系統(tǒng)中，被運(yùn)用于測量工件臺、 掩模臺的位置。然而，目前干涉儀的測量精度幾乎達(dá)到極限，同時干涉儀測量精度受周圍環(huán) 境影...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。