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正交偏振激光回饋干涉儀的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9215130

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激光干涉儀的應(yīng)用非常廣泛,在現(xiàn)代精密測量領(lǐng)域占據(jù)著非常重要的地位,由于 其高精度,可溯源,應(yīng)用廣泛等特點,可稱之為"計量之王"。 在機(jī)械制造業(yè),1C制造業(yè),實驗室等場合都可以見到激光干涉儀的身影?,F(xiàn)有的 技術(shù)成熟、應(yīng)用廣泛的激光干涉儀絕大多數(shù)都采用邁克爾遜干涉儀的基本結(jié)構(gòu),這一類結(jié) 構(gòu)相似的干涉儀我們統(tǒng)稱為傳統(tǒng)激光干涉儀。傳統(tǒng)干涉儀的優(yōu)點是性能穩(wěn)定、技術(shù)成熟、應(yīng) 用廣泛,但是也存在著難以彌補的缺點,即對待測目標(biāo)表面要求很高,大多數(shù)情況下都需要 靶鏡的配合...
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