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用于離子鍍膜的冷u陰極裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:91708

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本發(fā)明是屬于一種陰極噴鍍裝置。離子鍍膜技術是近十幾年在真空技術中一種新的表面物理氣相沉積技術。它利用離子所具有的很大動能,轟擊被鍍工件表面而成膜,所以能使鍍層和工件結合牢固,可以制成多種具有優(yōu)異性能的表面膜。已有的中空陰極離子鍍膜技術存在的問題,多是陰極采用昂貴的鉭管(約3800元/公斤),在工作過程中加熱到約3000°K,使用壽命較短,遇到微量氧化氣氛就被燒壞,對維護和使用離子鍍膜技術帶來困難。已改正的冷電弧陰極離子鍍膜技術,屬于冷U陰極離子鍍膜技術,它雖比上述中空陰極技術有很大改進,但仍存在進氣方式欠佳、陰極內...
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