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技術(shù)編號(hào)：9147937

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單晶硅拋光片(以下簡(jiǎn)稱硅片)是IC行業(yè)的基礎(chǔ)材料，而硅片在拋光加工之前必須使用專用設(shè)備裝片臺(tái)(WAFER MOUNTING UNIT)通過蠟液(WAX)將待拋光硅片與陶瓷載體盤貼合在一起。因此裝片臺(tái)是生產(chǎn)拋光片不可或缺的主要設(shè)備之一。其中由日本EnyaSystems, Limited (JP)公司生產(chǎn)的MT_610_25型裝片臺(tái)在目前國(guó)內(nèi)中小尺寸娃片制造廠商中得到廣泛使用。該型裝片臺(tái)采用氮?dú)饧訅汗┫灱案咚傩D(zhuǎn)硅片的方式在待拋光硅片背面形成一層超薄均勻蠟?zāi)ぃ?..
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