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一種用于可變形鏡的大口徑異形輕質(zhì)光學(xué)基片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9138893

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可變形鏡主要應(yīng)用于的各種自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中,作為波前校正器校正光波在傳播過程中產(chǎn)生的波前誤差。用于強(qiáng)激光系統(tǒng)裝置的可變形鏡的主鏡是一塊大口徑異形輕質(zhì)平面反射鏡,其前表面是面形精度高的平面,鍍有高反射率、高激光輻射損傷閾值的光學(xué)薄膜,后表面帶有用于連接驅(qū)動(dòng)可變形鏡發(fā)生形變的致動(dòng)器的柱形凸臺(tái)。所用大口徑異形輕質(zhì)光學(xué)基片的材料、口徑、鏡體厚度、柱形凸臺(tái)的形狀、大小、分布等都影響到可變形鏡校正波前誤差的性能。目前用于可變形鏡的大口徑異形輕質(zhì)光學(xué)基片柱形凸臺(tái)與鏡體是通...
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