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一種各向異性磁阻坡膜合金固定易磁化軸的制備裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9079925

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坡莫合金薄膜材料由于其具有各向異性磁阻效應(yīng)而被廣泛應(yīng)用于移動通訊、家用電器、導(dǎo)航系統(tǒng)、磁性傳感器、以及航空航天的多個領(lǐng)域,同時由于這種材料的磁電阻與電流和內(nèi)部磁化方向有關(guān),使得這種材料能夠被應(yīng)用于諸多方面;這種材料一般采用垂直濺射的方式沉積薄膜,且在沉積過程中都會在兩邊加上一個均勻的誘導(dǎo)磁場(附圖1),在400°C左右的基底溫度下沉積薄膜,從而誘導(dǎo)出一個跟誘導(dǎo)磁場方向相同的易磁化軸方向,當(dāng)外磁場方向跟易磁化軸方向一致的時候,薄膜電阻的變化率達(dá)到最大值,而當(dāng)...
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