技術(shù)編號:9079925
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。坡莫合金薄膜材料由于其具有各向異性磁阻效應(yīng)而被廣泛應(yīng)用于移動通訊、家用電器、導(dǎo)航系統(tǒng)、磁性傳感器、以及航空航天的多個領(lǐng)域,同時由于這種材料的磁電阻與電流和內(nèi)部磁化方向有關(guān),使得這種材料能夠被應(yīng)用于諸多方面;這種材料一般采用垂直濺射的方式沉積薄膜,且在沉積過程中都會在兩邊加上一個均勻的誘導(dǎo)磁場(附圖1),在400°C左右的基底溫度下沉積薄膜,從而誘導(dǎo)出一個跟誘導(dǎo)磁場方向相同的易磁化軸方向,當(dāng)外磁場方向跟易磁化軸方向一致的時候,薄膜電阻的變化率達(dá)到最大值,而當(dāng)...
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