技術(shù)編號：89807
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種對一封閉容器抽空以在其中獲得真空的螺旋型真空泵。諸如油封旋轉(zhuǎn)泵，羅茨機械增壓泵、噴射泵和擴散泵等都是目前使用的獲得壓強高于10-4托的中真空或粗真空的各類真空泵。先有技術(shù)的真空泵和真空系統(tǒng)存在下列問題(1)真空泵的工作壓強范圍狹窄，單一真空泵不可能在760-10-4托的壓強范圍中工作。油封旋轉(zhuǎn)泵實際上是唯一能在背壓為大氣壓的條件下進行工作的真空泵，而幾乎所有其他類的真空泵只能在背壓低于10托的條件下工作。當人們想在諸如CVD(化學蒸氣沉積法)室等半導體制造設(shè)備中獲得極限壓強為10-4-10-4托時，就...
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