技術編號：8923996
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。壓力傳感器利用的是單晶硅材料的壓阻效應，現(xiàn)已廣泛應用于氣壓、高度等領域的測量和控制中。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過測量電路就可以得到正比于力變化的電信號。目前被大批量生產(chǎn)和使用的壓力傳感器都是在N型硅襯底上制作出P型壓敏電阻，通常做法是在單晶硅膜片上通過離子注入的方式形成重摻雜區(qū)、輕摻雜區(qū)。目前壓力傳感器在生產(chǎn)的過程中，先將硅片鍵合減薄后，再將其制作成壓敏電阻。這樣的生產(chǎn)工藝很容易引起膜片的塑性變形，使最終的壓敏電阻偏離設計值，出現(xiàn)壓阻...
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