技術(shù)編號：8902644
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。氣壓是一個重要的物理量，航空航天、化工、紡織、食品、醫(yī)藥、倉儲、農(nóng)業(yè)、礦業(yè)和建筑等行業(yè)的生產(chǎn)安全對氣壓的要求都非常嚴(yán)格。特別是地下工程，由于通風(fēng)、有害氣體等因素對氣壓控制要求極為嚴(yán)格。氣壓傳感器是用于測量氣體的絕對壓強，目前很多空氣的氣壓傳感器的主要部件為變?nèi)菔焦枘ず?。?dāng)該變?nèi)莨枘ず型饨绱髿鈮毫Πl(fā)生變化時頂針動作，單晶硅膜盒隨著發(fā)生彈性變形，從而引起硅膜盒平行板電容器電容量的變化來控制氣壓傳感器。但半導(dǎo)體壓力傳感器制作工藝復(fù)雜，需要精密的電學(xué)元器件，由于需...
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