技術(shù)編號：8814226
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。當前硅片清洗工藝一般需要引入化學藥液來完成對硅片的清洗，傳統(tǒng)的清洗工藝一般是硅片由旋轉(zhuǎn)體夾持，由電機帶動共同旋轉(zhuǎn)，應用噴淋臂在旋轉(zhuǎn)體上方往硅片表面噴射常溫化學藥液來達到清洗的效果。但該工藝過程中，化學藥液容易受到空氣的影響，進而硅片清洗的效果也不理想。鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，需要提供一種清洗效果好的硅片清洗裝置。實用新型內(nèi)容(一 )要解決的技術(shù)問題本實用新型要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有的清洗工藝噴射常溫化學藥液來達到清洗的效果。但該工藝過程中，化學藥液容易受到空...
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