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一種位置可調(diào)的支撐腳裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8771830

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支撐腳裝置用于擺放晶片,以方便機(jī)械手對(duì)晶片進(jìn)行取片。支撐腳裝置一般包括圓環(huán)形支撐環(huán)和沿支撐環(huán)圓周安裝的若干支撐腳。圓盤(pán)形晶片水平擺放在各支撐腳的支撐面上,機(jī)械手可從二個(gè)支撐腳之間拾取晶片?,F(xiàn)有的支撐腳裝置通常都是半開(kāi)放式的,只能調(diào)節(jié)支撐腳到圓心的前后距離。這種支撐腳裝置只需在支撐環(huán)上開(kāi)設(shè)相應(yīng)的對(duì)心槽即可實(shí)現(xiàn)支撐腳的對(duì)心及位置調(diào)整,但在實(shí)際應(yīng)用中尚存在一定的局限性。比如,在半導(dǎo)體行業(yè),根據(jù)設(shè)備本身的結(jié)構(gòu),機(jī)械手的活動(dòng)空間會(huì)受到一定的限制,取片時(shí)可能會(huì)由于支撐...
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