技術編號：8617633
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。近年來隨著鍍膜技術的發(fā)展，產品鍍膜工藝已經從傳統(tǒng)金屬加工業(yè)延伸至半導體行業(yè)以及光電產業(yè)。真空鍍膜已經成為了非金屬電鍍過程的重要技術手段，其種類大致可分為蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。然而無論是上述的哪種形式的真空鍍膜，其鍍膜過程都需要一個良好的真空環(huán)境，現(xiàn)有技術中依靠抽真空設備，例如機械泵加擴散泵的組合設備，已經可以很好的滿足鍍膜機的真空度要求，并且，在產品完成鍍膜后，通過打開泄壓閥即可進行泄壓，最終出料。不難看出，上述的現(xiàn)有技術的泄壓過程將會伴隨著較大的吸...
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