技術(shù)編號：8537340
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 目前，在多晶硅生產(chǎn)過程中，國內(nèi)外運行的最大的還原爐為36對棒，現(xiàn)有的36對 棒還原爐運行控制工藝中，受爐內(nèi)氣場影響，近尾氣孔處硅棒溫度更高，導(dǎo)致爐內(nèi)熱場和氣 場分布不均衡，而熱場和氣場分布不均直接制約還原爐的正常運行，導(dǎo)致霧化，使得還原爐 內(nèi)環(huán)境變渾濁，產(chǎn)生細(xì)硅粉，并容易倒?fàn)t。所產(chǎn)生的硅粉給還原爐系統(tǒng)設(shè)備及下游工序帶來 很多不利影響，對產(chǎn)品質(zhì)量提出嚴(yán)重挑戰(zhàn)。 隨著多晶硅還原技術(shù)的發(fā)展，還原爐愈來愈趨于大型化，應(yīng)用48對棒的多晶硅還 原爐是多晶硅還原工藝的...
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