技術(shù)編號：8513591
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。計量目標(biāo)用于檢驗制作步驟的準(zhǔn)確性且經(jīng)設(shè)計為光學(xué)上可測量的。常見類型的計量目標(biāo)在目標(biāo)元件與其背景區(qū)域之間提供光學(xué)對比度。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的一個方面提供一種計量目標(biāo)，其包括引入到給定目標(biāo)設(shè)計中的所識別連續(xù)區(qū)域中的指定填充元件，其中所述所引入填充元件的參數(shù)通過對比度要求與不準(zhǔn)確性要求之間的折衷而確定，所述不準(zhǔn)確性要求經(jīng)由制作而與所識別連續(xù)區(qū)域相關(guān)聯(lián)。本發(fā)明的這些、額外及/或其它方面及/或優(yōu)點陳述于以下詳細(xì)說明中，可從所述詳細(xì)說明推斷；及/或可通過本發(fā)明的實踐獲悉。...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。