技術(shù)編號(hào)：8491645
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及感光樹(shù)脂組合物，其使得能夠形成具有良好的側(cè)壁形狀和優(yōu)異分辨率 的圖像，由于固化之后內(nèi)應(yīng)力小所以在濕熱試驗(yàn)之后與襯底具有優(yōu)異的緊密粘附性；并涉 及其固化產(chǎn)物。本發(fā)明的感光樹(shù)脂組合物的固化產(chǎn)物可用于制造MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng)）部 件、y-TAS (微型全分析系統(tǒng)）部件、微型反應(yīng)器部件、電子元件例如電容器和感應(yīng)器的絕 緣層、LIGA部件、微注塑和熱壓花的模具和沖模、微型印刷應(yīng)用的絲網(wǎng)或模板、MEMS和半導(dǎo) 體的封裝部件、BioMEMS和生物光子器件、...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。