技術(shù)編號(hào)：8476790
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及一種能夠在非燒成條件下直接成膜在薄膜等上的熱敏電阻用金屬氮 化物材料及其制造方法以及薄膜型熱敏電阻傳感器。背景技術(shù) 使用于溫度傳感器等的熱敏電阻材料為了高精度、高靈敏度而要求較高的B常 數(shù)。以往，這種熱敏電阻材料通常為Mn、Co、Fe等的過(guò)渡金屬氧化物（參考專利文獻(xiàn)1及 2)。并且，在這些熱敏電阻材料中，為了得到穩(wěn)定的熱敏電阻特性，需要600°C以上的燒成。 并且，除了由如上所述的金屬氧化物構(gòu)成的熱敏電阻材料，例如在專利文獻(xiàn)3中， 提出由以通式...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。