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技術(shù)編號(hào)：8461114

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本發(fā)明涉及一種用于產(chǎn)生等離子體的表面波施加器，以及用于產(chǎn)生表面波等離子體的設(shè)備和方法。背景技術(shù)表面波等離子體是一種高頻等離子體(HF，也就是頻率介于IMHz或以下至大于1GHz之間)，其中，等離子體由沿著與等離子體接觸的介電管傳播的電磁波(特別是射頻或微波)來(lái)維持。M.Moisan等人的文章提供了該領(lǐng)域中的參考書目的深度回顧。根據(jù)情況的不同，等離子體能夠生成于介電管的外部或內(nèi)部，又或者介電管的內(nèi)部和外部。在該技術(shù)中，等離子體和介電管構(gòu)成了沿著傳播區(qū)域生成等...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無(wú)完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。

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• 孫老師：1.振動(dòng)信號(hào)時(shí)頻分析理論與測(cè)試系統(tǒng)設(shè)計(jì) 2.汽車檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì) 3.汽車電子控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)
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