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彈性波裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8447198

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圖8是現(xiàn)有的彈性波裝置I的剖面示意圖。彈性波裝置I具備壓電基板2 ;配置在壓電基板2上的叉指換能器(IDT)電極3 ;配置在壓電基板2上且與IDT電極3連接的布線電極4 ;配置在壓電基板2上且包圍IDT電極3的周圍的側(cè)壁5 ;按照覆蓋IDT電極3上的空間6的方式設(shè)置于側(cè)壁5上的頂板7 ;覆蓋側(cè)壁5和頂板7的絕緣體8 ;配置在絕緣體8上的電感器電極(inductor electrode)9 ;覆蓋絕緣體8的上表面和電感器電極9的絕緣體10 ;配置在絕緣體10...
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