技術(shù)編號(hào):8428767
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。光柵傳感器是采用光柵疊柵條紋原理測(cè)量位移的傳感器。光柵傳感器由標(biāo)尺光柵、指示光柵、光路系統(tǒng)和測(cè)量系統(tǒng)四部分組成。標(biāo)尺光柵和指示光柵是采用光刻工藝在長(zhǎng)條形的光學(xué)玻璃上刻出密集等間距平行的一組刻線,刻線密度為10?100線毫米,對(duì)應(yīng)的精度為100?10微米??叹€的密度決定了光柵傳感器的精度,精度越高的光柵傳感器價(jià)格也越高。標(biāo)尺光柵相對(duì)于指示光柵移動(dòng)時(shí),便形成大致按正弦規(guī)律分布的明暗相間的疊柵條紋。正弦波的波長(zhǎng)(周期,因?yàn)锳f=c,即波長(zhǎng)λ =周期乘以光速=Tc...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。