技術編號：8426373
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。重摻硼硅單晶片是一種應用范圍很廣的硅片。衡量重摻硼硅單晶片性能的一種重要指標是氧含量。氧含量過高會導致晶片在做成器件后不良率較高，漏電現(xiàn)象較多。發(fā)明內容本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術中的不足，提供一種氧含量低的。為實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術方案實現(xiàn)，其特征在于，使用封閉熱場拉制硅單晶棒，封閉熱場內設置有石英坩堝，所述石英坩堝尺寸為14寸，每次拉制投料量為22kg-27kg ;封閉熱場內氬氣流量為50-60L/min ;爐內壓力為10_15Torr ;...
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