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技術(shù)編號(hào)：8414202

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近年來，三族氮化物廣泛用于發(fā)光二極管、激光器和探測器等光電器件并且表現(xiàn)出很好的發(fā)展前景。GaN基發(fā)光二極管(LEDs)是未來應(yīng)用于通用照明最有前景的固態(tài)光源，它的廣泛應(yīng)用將可以節(jié)約大量能源。通常的LED外延生長工藝是使用MOCVD設(shè)備，先在藍(lán)寶石襯底上生長buffer緩沖層，接著生長一層無摻雜高溫GaN層，再生長一層摻Si的高溫n-GaN，用以提供復(fù)合的電子，然后生長InxGahNAlyGa1INO)彡x彡1，0彡y彡I)多量子阱層，接著再生長一層P-Al...
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