技術(shù)編號：8399096
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。為了制造半導(dǎo)體和顯示器，多種原料引入至減壓處理室。如在灰化、沉積、蝕刻、光亥|J、清洗和氯化處理等多種處理在減壓處理室中實施。從處理室排出的氣體中含有各種揮發(fā)性有機化合物、酸、惡臭氣體、可燃性物體和環(huán)境規(guī)定限制的物質(zhì)。常規(guī)的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)包括用于使處理室真空化的真空泵，并安裝在真空泵下游來凈化排出氣體并將凈化的氣體排出到大氣中的洗滌器。然而，在抽吸過程中，未反應(yīng)原料和處理副產(chǎn)物可能進入并以固體狀沉積在真空泵。該固體副產(chǎn)物會減少真空泵的工作壽命?？紤]到此狀況...
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