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一種硅片盒搬送系統(tǒng)及搬運(yùn)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8390880

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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,300mm硅片已經(jīng)逐步取代200mm硅片成為主流,每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來(lái)的約4公斤變成約9公斤。因此,仍然借助人力手工搬送,不僅會(huì)降低效率,還存在搬運(yùn)人員人身傷害的可能。同時(shí),半導(dǎo)體制造對(duì)于廠房的利用率以及生產(chǎn)周期的要求越來(lái)越嚴(yán)茍S自動(dòng)化物料傳輸系統(tǒng)(Automated MaterialHandlingSystems,簡(jiǎn)稱AMHS)作為連接各個(gè)制造模塊之間輸送娃片的紐帶的重要性也日?凸顯出來(lái)?,F(xiàn)有的AMHS系統(tǒng)均采用懸掛于...
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