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圖案生成方法、信息處理裝置以及掩模制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8360402

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近年來,由于電路圖案小型化,使用半導(dǎo)體曝光裝置在襯底上轉(zhuǎn)印希望的圖案變得困難。為了應(yīng)對這種情況,已提出兩種方法。首先,已提出了被稱為一維布局技術(shù)的技術(shù)(參考Michael C.Smayling等,“LowklLogic Design using Gridded Design Rules” SPIE 會議記錄第 6925 卷第 69250B 頁(2008))。圖1A至IC是示出了一維布局技術(shù)的圖。在一維布局技術(shù)中,提前形成圖1A中所示的線/空隙圖案(在下文中...
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