技術(shù)編號:8341303
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。DEMOS器件是一種高壓器件,現(xiàn)有DEMOS器件一般和低壓器件如CMOS器件集成在一起制備,現(xiàn)有DEMOS器件是在低壓器件工藝的基礎(chǔ)上共用低壓器件的阱區(qū)(WELL),這樣使DEMOS器件的擊穿電壓(BV)受限于低壓器件的高濃度阱區(qū)之間的PN結(jié)的BV,所以現(xiàn)有DEMOS器件的BV—般為18V以下。如圖1是現(xiàn)有DEMOS器件結(jié)構(gòu)示意圖;&N型器件為例,現(xiàn)有DEMOS器件包括硅襯底101,在所述硅襯底101中形成N阱102,P阱103a和103b,所述N...
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