技術(shù)編號(hào)：8300304
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別涉及。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體領(lǐng)域，現(xiàn)有的微機(jī)電系統(tǒng)壓力傳感器，是通過(guò)壓力傳感器開(kāi)關(guān)（Pressure Sensor Shutter)接收外界的氣體壓力，然后將氣體壓力轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，測(cè)量出具體的壓力 信息。 現(xiàn)有技術(shù)中，形成壓力傳感器開(kāi)關(guān)的方法包括 參照?qǐng)D1，提供基底1，在基底1上具有晶體管；在基底1上形成有層間介質(zhì)層2,層 間介質(zhì)層2覆蓋所述晶體管和基底1 ;在層間介質(zhì)層2中形成有互連線4和下極板32,互連 線4和下極板32相互隔開(kāi)，并...
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