技術(shù)編號(hào)：8254311
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)是指可批量制作的，集 微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器W及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于 一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi) 部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)。 微機(jī)電系統(tǒng)是一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺(tái)。它是W半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來(lái) 的。MEMS技術(shù)采用了半導(dǎo)體技術(shù)中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術(shù)和材料...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。