技術(shù)編號：8201931
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及，其中在具有由半導(dǎo) 體材料組成的排出管的圓盤上熔化半導(dǎo)體材料的顆粒，由熔化的顆粒形 成的熔體從排出管以熔體頸和熔體腰的形式延伸至相界面，利用具有開 口的感應(yīng)加熱線圈向熔體輸入熱量，熔體頸通過該開口，熔體在相界面 處結(jié)晶。背景技術(shù)例如US 2003/145781 A描述了該方法。該方法能夠利用顆粒作為原 料制造半導(dǎo)體材料的單晶。US 2003/145781 A的圖4所示為適合于實施 該方法的設(shè)備。在圓盤上熔化顆粒，在圓盤的中心具有延伸至排出管的 通孔。設(shè)置在圓盤上方的第一感應(yīng)加熱線圈用于熔化顆粒。熔...
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