技術編號:8193119
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本發(fā)明涉及ー種耐高溫坩堝,具體是ー種可重復使用的組裝式耐高溫鑰坩堝。背景技術藍寶石晶體由于具有高強度、高硬度,耐高溫、耐磨擦、化學穩(wěn)定性好等一系列優(yōu)良的綜合物化性能,是GaN基LED外延生長的商業(yè)化襯底材料,占市場95%,是半導體照明技術和產(chǎn)業(yè)的基礎材料。藍寶石晶體的熔點高達2050攝氏度生長極其困難,直徑200mm以上的藍寶石晶體主要有泡生法和熱交換法,熱交換法是目前世界上穩(wěn)定生長最大尺寸和最高光學質量的藍寶石晶體的唯一方法。但是熱交換法中采用的耐高溫鑰坩堝制造成本非常昂貴,加工難度極大,世界上目前只有兩...
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