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射頻信號(hào)相位可數(shù)字式調(diào)節(jié)的射頻電源的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8177922

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及射頻電源,尤其是涉及一種射頻信號(hào)相位可數(shù)字式調(diào)節(jié)的射頻電源。背景技術(shù)射頻電源是用于產(chǎn)生射頻功率信號(hào)的裝置,屬于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的核心部件,所有產(chǎn)生等離子體進(jìn)行材料處理的設(shè)備都需要射頻電源提供能量。在集成電路、太陽能電池和LED (Light Emitting Diode,發(fā)光二極管)的工藝制造設(shè)備,例如刻蝕機(jī)、PVD (PhysicalVapor Deposition,物理氣相沉積)、PECVD(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣...
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