技術(shù)編號：8155053
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及高頻天線電路以及感應(yīng)耦合等離子體處理裝置。背景技術(shù)隨著使用于FPD的玻璃襯底的大型化，處理該玻璃襯底的等離子體裝置也要求大面積的等離子體控制。以往，將能到得到高密度等離子體的感應(yīng)耦合等離子體處理裝置使用于玻璃襯底的處理，為了應(yīng)對上述要求，采用了以下方法，即將天線分割成多個部分，能夠按分割得到的每個天線進行控制。作為分割天線的一種技術(shù)，可使用由多個天線片構(gòu)成的螺旋天線以及由配置于該螺旋天線與處理室之間的電介質(zhì)、或由鋁構(gòu)成而被分割成多個部分的窗組合得到的天線(專利文獻I)，并且，作為其它技術(shù)，可使用按...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。