技術(shù)編號:8152397
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及用于多晶硅鑄錠設(shè)備及其控制方法,尤其涉及多晶鑄錠爐的熱交換臺及其通氣管徑變化方法。背景技術(shù)多晶硅鑄錠爐是目前光伏行業(yè)中多晶硅的主要生產(chǎn)設(shè)備,鑄錠工藝經(jīng)過熔化、定向長晶、退后、冷卻等幾個階段后,成為有一定晶體生長方向的多晶硅錠。多晶硅鑄錠過程環(huán)境是多晶鑄錠爐熱場。在多晶硅生長過程中,坩堝底部的溫度控制是由輻射散熱決定的。目前輻射散熱的方式主要是兩種一是通過調(diào)節(jié)加熱器的功率以及多晶爐爐內(nèi)底部隔熱籠的開度,通過熱交換臺輻射進行降溫;另一種是通過調(diào)節(jié)加熱器功率以及熱交換臺內(nèi)部通氣帶走熱量,實現(xiàn)散熱,隔熱籠...
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