技術(shù)編號：8142519
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于單晶生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種直拉單晶隔熱裝料方法，本發(fā)明還涉及該直拉單晶隔熱裝料方法所使用的隔熱裝料裝置。背景技術(shù)直拉單晶生產(chǎn)工藝中，在拆爐后，通常需要進(jìn)行取晶體、熱場冷卻、熱場清掃、裝料、合爐等幾個(gè)工序環(huán)節(jié)來實(shí)現(xiàn)下一爐次的單晶拉制的準(zhǔn)備，這一過程通常稱為拆裝爐工藝。 在單晶拉制過程中由于石英坩堝與熔硅不斷反應(yīng)會生成一氧化硅，大量的一氧化硅揮發(fā)物在排出的過程中會沉積在熱場及單晶爐爐筒內(nèi)部，因此在停爐后，通常需要將熱場及爐筒重新清掃，以保證下爐單晶拉制過程中的高純衛(wèi)生。但由于拆爐時(shí)熱場內(nèi)部尚有500-...
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