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一種用于吊裝石英坩堝的夾具的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8133899

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技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及直拉單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,特別是在單晶硅棒生產(chǎn)過(guò)程中一種用于吊裝石英坩堝的夾具。 背景技術(shù)在太陽(yáng)能硅片的生產(chǎn)過(guò)程中,直拉單晶硅生產(chǎn)多為規(guī)?;a(chǎn),生產(chǎn)車(chē)間因生產(chǎn) 設(shè)備較多,容易形成對(duì)單晶硅棒等原料的交叉污染。在單晶硅棒切割完畢單晶爐拆爐后,爐 內(nèi)的余溫可達(dá)到300攝氏度,必須開(kāi)放爐體進(jìn)行冷卻,在較長(zhǎng)時(shí)間的開(kāi)放式冷卻過(guò)程中,爐 內(nèi)的石墨粉塵、二氧化硅粉塵以及雜質(zhì)等會(huì)大量揮發(fā),由于目前采用的填料技術(shù)通常是直 接添加到爐內(nèi),沒(méi)有任何保護(hù)措施,這就導(dǎo)致了相鄰單晶爐內(nèi)填料過(guò)程中原料易受到污染。 并且直接添...
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