技術(shù)編號(hào):8133899
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及直拉單晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,特別是在單晶硅棒生產(chǎn)過(guò)程中一種用于吊裝石英坩堝的夾具。 背景技術(shù)在太陽(yáng)能硅片的生產(chǎn)過(guò)程中,直拉單晶硅生產(chǎn)多為規(guī)?;a(chǎn),生產(chǎn)車(chē)間因生產(chǎn) 設(shè)備較多,容易形成對(duì)單晶硅棒等原料的交叉污染。在單晶硅棒切割完畢單晶爐拆爐后,爐 內(nèi)的余溫可達(dá)到300攝氏度,必須開(kāi)放爐體進(jìn)行冷卻,在較長(zhǎng)時(shí)間的開(kāi)放式冷卻過(guò)程中,爐 內(nèi)的石墨粉塵、二氧化硅粉塵以及雜質(zhì)等會(huì)大量揮發(fā),由于目前采用的填料技術(shù)通常是直 接添加到爐內(nèi),沒(méi)有任何保護(hù)措施,這就導(dǎo)致了相鄰單晶爐內(nèi)填料過(guò)程中原料易受到污染。 并且直接添...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。