技術編號：8132717
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。技術領域本實用新型涉及一種多晶硅還原爐，屬太陽能光伏領域。背景技術目前，國內外生產多晶硅的主要工藝技術是"西門子改良法"，用提純后的高純三氯氫硅與氫氣按比例混合后，在一定的溫度和壓力下通入多晶硅還原爐內，在通電高溫硅芯上進行沉積反應生成多晶硅，反應溫度控制在108(TC左右，最終生成棒狀多晶硅產品。[0003] 目前多晶硅還原爐是"西門子改良法"生產多晶硅的主要設備，比如12對棒、18對棒快開式還原爐多晶硅設備，由于還原爐為一種需要內部硅芯加熱保證在108(TC左右溫度進行生產，而外部需要用夾套水冷進行冷卻的設備，...
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