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熱處理裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8091368

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專利摘要本發(fā)明涉及半導體處理裝置,公開了一熱處理裝置,包括加熱層及夾層,夾層環(huán)繞待加熱樣品以形成加熱腔,加熱層設(shè)置在加熱腔內(nèi),用于加熱待加熱樣品,夾層內(nèi)部中空,以允許外界氣體進入所述夾層。本發(fā)明通過在熱處理裝置中設(shè)置一內(nèi)部中空的夾層,并控制夾層內(nèi)部氣體壓力,當熱處理裝置升溫并至保溫階段,控制夾層內(nèi)部氣體壓力為負壓,減小熱傳遞及熱對流帶來的熱損失,使熱處理裝置內(nèi)部溫度快速到達工藝溫度,到達工藝溫度進行保溫時,能降低維持工藝溫度的能耗;當熱處理裝置降溫時,控制夾層內(nèi)部壓力為非負壓狀態(tài),并使氣體處于流動狀態(tài)帶走熱量,達到...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

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