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陣列化金剛石膜及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8048305

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及晶體管、二極管、發(fā)光元件、各種傳感器等的電子器件、X射線和光學(xué)相關(guān)材料等所使用的高品質(zhì)的。背景技術(shù)金剛石耐熱性優(yōu)異,另外通常還是絕緣體,但卻具有能夠借助摻雜質(zhì)而成為半導(dǎo)體這樣的特性。另外金剛石還具有電介質(zhì)嘩電壓和飽和漂移速度大,電容率小這樣優(yōu)異的電特性。具有這樣的特性的金剛石被期待作為高溫、高頻、高電場用的電子器件。另外,金剛石利用其帶隙大(5. 5eV),推薦面向?qū)?yīng)紫外線等短波長區(qū)域的光傳感器和發(fā)光元件的應(yīng)用,或面向利用高透光性、折射率的X射線窗和光學(xué)材料的應(yīng)用等。在上述這樣的應(yīng)用中,為了最大...
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