技術(shù)編號(hào)：8037727
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域一種單晶爐的石墨熱場技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種石墨熱場，特別涉及用于拉制單晶硅棒的高效石墨熱場。技術(shù)背景[0002]直拉單晶硅生產(chǎn)過程中，采用的單晶爐的石墨熱場主要由保溫筒、導(dǎo)流筒、加 熱器、石墨坩堝及石英坩堝組成，石英坩堝位于石墨坩堝內(nèi)，石墨坩堝位于加熱器內(nèi)， 保溫筒位于最外層，導(dǎo)流筒位于石英坩堝之上及保溫筒內(nèi)。當(dāng)加熱器通電后，石墨坩 堝開始升溫，當(dāng)溫度升至1400-1600度時(shí)，石英坩堝內(nèi)的硅料充分熔化，再通入惰性氣 體，在惰性氣體的保護(hù)下，經(jīng)過引晶、放肩等步驟過盛晶體的生長。為了確保晶體的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。