技術(shù)編號：8025544
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種用于晶體生長所采用的加熱方法及裝置目前在晶體生長領(lǐng)域研究中所采用的加熱方法主要有電阻加熱、中/高頻感應(yīng)加熱、高能束加熱等等。其中電阻加熱主要是將材料置于加熱電阻絲或加熱電極所圍成的加熱爐當(dāng)中進(jìn)行加熱，可根據(jù)使用溫度的不同，選用適當(dāng)?shù)碾娮杞z或加熱電極；中/高頻感應(yīng)加熱是將材料置于感應(yīng)線圈中，在線圈中通過中/高頻電流，從而在材料表面產(chǎn)生感應(yīng)渦流進(jìn)行加熱，材料的加熱溫度主要是通過調(diào)整施加于感應(yīng)線圈上的電流功率來進(jìn)行控制；高能束加熱是采用激光、電子束、等離子束等高能束直接對材料表面進(jìn)行加熱，材料的加熱...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。