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基板檢查裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8022800

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及通過分析對基板表面進行攝像而獲得的圖像來判斷在基板上印刷的圖形等的良好與否用的基板檢查裝置。背景技術(shù) 過去,作為這種基板檢查裝置,具有以下結(jié)構(gòu)的基板檢查裝置是公知的,即,所述基板檢查裝置包括CCD(電荷耦合器件)行傳感器以及在CCD行傳感器中的CCD的排列方向上配置的線狀光源,通過將這些CCD行傳感器和線狀光源相對于基板表面而沿掃描方向移動,以長方形的形狀讀取基板的圖像。這種現(xiàn)有的基板檢查裝置,在基板上將由CCD行傳感器讀取的區(qū)域照明的照度分布不均的情況下,存在著不能獲得圖像的正確的濃度信息這樣的...
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