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一種mems麥克風的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7833741

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專利摘要本實用新型公開了一種MEMS麥克風,包括外部封裝結(jié)構(gòu),所述外部封裝結(jié)構(gòu)包括線路板以及形成側(cè)壁的中空腔體和頂板,封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)部設置有MEMS芯片及ASIC芯片,頂板上設置有聲孔,并且,本實用新型MEMS麥克風還包括有減震部,所述減震部設置于所述外部封裝結(jié)構(gòu)內(nèi),MEMS聲學芯片通過減震部與線路板固定,減震部的設置避免外部應力通過線路板作用于MEMS聲學芯片上,在MEMS麥克風裝配、使用過程中,外部應力傳遞到線路板后,經(jīng)減震部減震卸掉,不作用于MEMS聲學芯片上,避免外部應力對MEMS麥克風產(chǎn)生影響導致誤差,提高M...
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